【I765462】太陽能電池薄膜的製造方法

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【I765462】太陽能電池薄膜的製造方法

公告號	I765462 公開202224202
公告日	2022/05/21
公報卷期	49-15
證書號	I765462
申請號	109143846 E
申請日	2020/12/11
公報IPC	H01L 31/046(2014.01); H01L 31/18(2006.01)
當前IPC	H01L 31/046(2014.01); H01L 31/18(2006.01)
申請人	國立高雄科技大學高雄市三民區建工路415號 (中華民國) (TW)
當前專利權人	國立高雄科技大學
發明人	陳錦泰 (中華民國) (TW)
代理人	高玉駿; 楊祺雄
審查委員	林信宏
摘要	一種太陽能電池薄膜的製造方法，包含一前置步驟、一混合步驟，及一沉積步驟。在該前置步驟中，準備一設置有複數微液滴產生器的低壓環境，該等微液滴產生器分別容置不同的液態材料。在該混合步驟中，該等微液滴產生器將液態材料以液滴型態輸出至該低壓環境中，並在空中相互混合。在該沉積步驟中，該等液態材料中的溶劑在該低壓環境中蒸發，而該等液態材料中的溶質堆疊沉積而製成一太陽能電池薄膜，藉此可提升製作太陽能電池薄膜之材料複合種類及效能。此外，透過在空中混合液滴狀的液態材料，能達到較均勻的材料混合效果。

專利範圍

1.一種太陽能電池薄膜的製造方法，包含：一前置步驟，準備一低壓環境，並在該低壓環境中置放一基板，該低壓環境中設置有複數位於該基板上方的微液滴產生器，該等微液滴產生器分別容置不同的液態材料；一混合步驟，該等微液滴產生器將自身所容置的液態材料以液滴型態輸出至該低壓環境中，該等液滴狀的液態材料於該低壓環境內在空中相互混合；及一沉積步驟，該等液態材料中的溶劑在該低壓環境中蒸發，而該等液態材料中的溶質堆疊沉積於該基板表面，從而製成一太陽能電池薄膜，該太陽能電池薄膜具有至少一由該等液態材料之溶質所構成的異質微結構層。

2.如請求項1所述太陽能電池薄膜的製造方法，其中，該低壓環境的壓力為10-2托(Torr)至10-5托(Torr)。

3.如請求項1所述太陽能電池薄膜的製造方法，其中，該低壓環境為可受控制而開啟的密閉腔室。

4.如請求項1所述太陽能電池薄膜的製造方法，其中，每一該等微液滴產生器具有複數用於輸出該等液態材料的噴頭。

5.如請求項1所述太陽能電池薄膜的製造方法，其中，在該前置步驟中，每一該等微液滴產生器所容置的液態材料具導電性，在該沉積步驟中，該太陽能電池薄膜為電極、電子載子傳輸薄膜，或電洞載子傳輸薄膜其中之一。

6.如請求項5所述太陽能電池薄膜的製造方法，其中，在該前置步驟中，每一該等微液滴產生器所容置具導電性的液態材料為導電高分子、石墨烯、奈米碳管，或奈米銀。

7.如請求項1所述太陽能電池薄膜的製造方法，其中，在該前置步驟中，每一該等微液滴產生器所容置的液態材料含有正負型半導體主動層材料，在該沉積步驟中，該太陽能電池薄膜為作用層薄膜。

8.如請求項7所述太陽能電池薄膜的製造方法，其中，在該前置步驟中，每一該等微液滴產生器所容置的液態材料含有高分子載子受體或高分子載子施體。

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