【I744831】奈米金屬混和奈米粒子觸媒增強氣體感測器

快速搜尋

【I744831】奈米金屬混和奈米粒子觸媒增強氣體感測器

公告號	I744831
公告日	20211101
公報卷期	48-31
證書號	I744831
申請號	109109431
申請日	20200320
公報IPC	G01N 27/04(2006.01); B81B 7/02(2006.01); G01N 27/14(2006.01)
當前IPC	G01N 27/04(2006.01); B81B 7/02(2006.01); G01N 27/14(2006.01)
申請人	國立高雄科技大學高雄市三民區建工路415號 (中華民國); NATIONAL KAOHSIUNG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY NO.415, JIANGONG RD., SANMIN DIST., KAOHSIUNG CITY (TW)
當前專利權人	國立高雄科技大學; NATIONAL KAOHSIUNG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
發明人	薛丁仁 (中華民國); HSUEH, TING JEN (TW)
代理人	陳豐裕
審查委員	林永昌
摘要	本發明係有關於一種奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其主要係於基板上端設有絕緣層，絕緣層上端外側設置有介電層，於介電層內設有加熱元件，另於介電層之間設有奈米感測層，奈米感測層內則設有電極，奈米感測層係由諸多奈米金屬混合奈米粒子所組成；藉此，在使用上能增加與空氣接觸的表面積，相對即可增加反應面積，令其具有更佳的感測靈敏度，而在其整體施行使用上更增實用功效特性者。

引用專利	TW201224446A; TW2020011020A

專利範圍

1.一種奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其主要係包括有基板、絕緣層、介電層、加熱元件、奈米感測層及電極；其中：該基板上端設有該絕緣層，於該絕緣層上端外側設置有該介電層，於該介電層內設有該加熱元件，另於該介電層之間設有該奈米感測層，該奈米感測層內則設有該電極，該奈米感測層係由諸多奈米金屬混合奈米粒子所組成，而呈一鬆散狀的結構。

2.一種奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其主要係包括有基板、絕緣層、介電層、加熱元件、奈米感測層、電極及感測薄膜；其中：該基板上端設有該絕緣層，於該絕緣層上端外側設置有該介電層，於該介電層內設有該加熱元件，另於該介電層之間設有該感測薄膜，於該感測薄膜內設有該電極，再於該感測薄膜上端設置該奈米感測層，該奈米感測層係由諸多奈米金屬混合奈米粒子所組成，而呈一鬆散狀的結構。

3.如請求項1或2所述奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其中，該絕緣層係為氧化矽〔SiO2〕、氧化錫〔SnO2〕、氧化鋁〔Al2O3〕、氮化鋁〔AlN〕、氮化矽〔SiNx〕任一種。

4.如請求項1或2所述奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其中，該介電層係為氮化矽〔SiNx〕、氧化鋁〔Al2O3〕、氮化鋁〔AlN〕任一種。

5.如請求項1或2所述奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其中，該奈米金屬係為金〔Au〕、銀〔Ag〕、鈀〔Pd〕、鉑〔Pt〕任一種。

6.如請求項1或2所述奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其中，該奈米金屬係為金〔Au〕、銀〔Ag〕、鈀〔Pd〕、鉑〔Pt〕複數種之混合。

7.如請求項1或2所述奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其中，該奈米粒子係為氧化鑭〔La2O3〕、氧化錫〔SnO2〕、氧化鈷〔CoO〕任一種。

8.如請求項1或2所述奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其中，該奈米粒子係為氧化鑭〔La2O3〕、氧化錫〔SnO2〕、氧化鈷〔CoO〕複數種之混合。

9.如請求項2所述奈米金屬混合奈米粒子觸媒增強氣體感測器，其中，該感測薄膜係為金屬氧化物半導體材料。

瀏覽數: