專利名稱

披覆太陽能電池CuxZnSnSy(CZTS)薄膜的方法

申請號

099124132

申請日

2010/07/22

專利證號

I440202

專利權人

國立高雄海洋科技大學

發明人

葉旻彥、武東星、黃于峯

主IPC分類碼

H01L-031/18(2006.01)；H01L-031/042(2006.01)

專利摘要

本發明係關於一種披覆太陽能電池CuxZnSnSy(CZTS)薄膜的方法，可在玻璃等基板上披覆太陽能電池CuxZnSnSy(CZTS)的薄膜，本發明在旋轉塗佈工作檯上方裝有向旋轉工作檯輸出氣流的裝置，當玻璃基板隨著工作檯以旋轉的方式運轉時，CuxZnSnSy前驅物隨著離心力，在基板表面上形成披覆的同時，此氣流可以幫助CuxZnSnSy前驅物的移動能量，以改善薄膜均勻性、邊緣突起、及薄膜緻密性等，有效改善薄膜龜裂及孔洞現象的產生。。